1. 設備介紹

氫氣特氣柜是半導體、新能源行業中儲存和輸送高壓氫氣的關鍵設備，具備壓力調節、泄漏檢測、安全防爆等功能，廣泛應用于晶圓退火、燃料電池生產、化工合成等場景，氫氣的易燃易爆特性對設備安全性和氣體純度要求極高。

2. 為何需要使用過濾器

氫氣在壓縮儲存過程中，易混入氣瓶內壁的鐵銹、油脂、水分及壓縮機潤滑油霧，這些雜質不僅會導致特氣柜內閥門、壓力表等部件磨損卡滯，還可能因油脂與氫氣混合引發安全隱患，同時雜質會影響下游制程的產品質量。

3. 過濾器介紹

恒歌 HF 系列氫氣特氣柜專用過濾器，專為高壓氫氣輸送場景設計，采用防爆型 316L 不銹鋼結構，嚴格遵循氫氣安全標準，設計壓力 50Mpa，可高效濾除氫氣中的油霧、水分、金屬顆粒及碳氫化合物，保障特氣柜系統安全穩定運行。

4. 產品特點

316L 不銹鋼防爆結構，適配氫氣易燃易爆特性，使用更安全

耐高壓 50Mpa、耐低溫 - 40℃，適配氫氣儲存和輸送的極端工況

專用濾芯可高效去除油霧(過濾精度 0.01μm)和水分，避免氫脆現象

輕量化小型化，完美適配特氣柜內部緊湊安裝空間

100% 氨氣泄露檢測通過，密封性能符合高壓氫氣輸送要求

安裝檢修便捷，濾芯更換無需拆卸管道，降低停機時間

5. 產品應用

適用于半導體行業氫氣特氣柜、新能源燃料電池氫氣儲存柜、化工行業高壓氫氣輸送柜、實驗室氫氣純化系統。

6. 常見問答

Q1：過濾器是否具備防氫脆功能?

A1：主體采用耐氫脆 316L 不銹鋼材質，濾芯及密封件均選用氫兼容材料，完全避免氫脆導致的結構失效。

Q2：最大工作壓力能否滿足 30Mpa 氫氣系統?

A2：設計壓力 50Mpa，可穩定適配 0-30Mpa 高壓氫氣系統，預留充足安全余量。

Q3：濾芯更換周期是多久?

A3：根據氫氣純度和使用頻率，常規更換周期為 8-12 個月，建議配合特氣柜定期維護同步更換。

7. 選型引導

氫氣特氣柜的工作壓力、流量、氫氣純度要求直接影響過濾器選型，如需安全適配的定制方案，可聯系恒歌技術團隊提供專業支持!