實(shí)驗(yàn)室超純氣體管道主要用于輸送電子級(jí)高純氣體(如高純氬氣、高純氦氣),應(yīng)用于半導(dǎo)體材料制備、微電子實(shí)驗(yàn)等高端領(lǐng)域,氣體純度直接影響實(shí)驗(yàn)樣品的性能和檢測(cè)結(jié)果。

?實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)是科研、檢測(cè)領(lǐng)域的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施,為色譜儀、質(zhì)譜儀、材料分析設(shè)備等提供穩(wěn)定、高純的氣體供應(yīng),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料研發(fā)、化學(xué)分析、生物醫(yī)藥檢測(cè)等場(chǎng)景,其氣體潔凈度直接影響實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中,需要輸送大量的高純氣體,如氫氣、氮?dú)獾取CR 過(guò)濾墊片氣體管路密封限流接頭可以確保氣體的純度,防止雜質(zhì)進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備,同時(shí)精確控制氣體流量,保證芯片制造過(guò)程的穩(wěn)定性和可靠性。
